产品概述
Agilent HP 5517B是安捷伦（Agilent）研发的激光干涉仪核心组件，属于精密测量设备，专为工业控制、光学检测及科研领域设计。该产品采用氦氖激光技术，提供高稳定性和高精度的双频干涉测量能力，适用于机床校准、半导体制造、航空航天部件检测等场景，具备长距离测量、快速响应及多模式适配特性。
主要特点和优势
高精度测量：支持亚微米级精度，采用稳定氦氖激光源（633nm波长），适用于纳米级位移、长度及表面形貌检测。
长距离兼容性：可覆盖数米级测量范围，满足大型工件校准与复杂机械系统检测需求。
多模式适配：支持绝对测量与增量测量模式，灵活应对不同工业场景的动态与静态检测需求。
快速响应能力：实时数据采集与处理，适配高速运动物体的动态监测（如机床主轴定位）。
高可靠性设计：平均无故障时间（MTBF）超50,000小时，配备抗干扰电路与温度补偿机制，适应工业环境恶劣条件。
技术规格
参数项说明
品牌安捷伦（Agilent）
型号HP 5517B
激光类型II类氦氖激光
波长633nm
线性光学速度500 mm/s（标准版）
参考频率范围1.9-2.4 MHz（选项H10可扩展至2.2-2.4 MHz）
输出功率最小120µW，最大1 mW
激光束直径6 mm（选项支持3 mm或9 mm）
预热时间90分钟（标准版）
重量3.4公斤
工作温度范围-25℃至65℃
供电要求220V AC
应用领域
工业制造：用于数控机床导轨、主轴定位的校准，保障加工精度与设备稳定性。
半导体行业：支持光刻机对准系统、晶圆检测等高精度工艺控制。
航空航天：检测飞行器部件的形变与装配误差，确保飞行安全。
科研实验：应用于光学实验室的干涉测量、引力波探测等前沿研究。
精密检测：校准长度标准器、光栅尺等计量设备，提升检测系统基准精度。
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德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。
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CompactLogix/1769/1768、
Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。
Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。
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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。
Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
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