产品简介：LEYBOLD TR211
LEYBOLD TR211是一款高精度热导真空传感器，专为工业真空系统设计，适用于半导体制造、真空镀膜、制冷设备及实验室环境。其核心优势在于宽广的测量范围、高灵敏度及抗干扰能力，可满足从粗真空到中等真空的精确压力监测需求。
主要特点和优势
宽量程与高精度
测量范围覆盖5×10⁻⁴毫巴至1000毫巴（3.75×10⁻⁴托至750托），适用于半导体工艺、真空炉等多场景。
采用钨丝或铂丝传感器，结合热导技术，确保在高温、腐蚀性气体环境下的稳定性。
工业级环境适应性
工作温度范围0°C至40°C，支持温度补偿功能，消除环境温差对测量精度的影响。
铝制或不锈钢外壳设计，提供IP65防护等级，适应粉尘、油污等恶劣工业环境。
快速响应与抗干扰
响应时间小于5毫秒，支持实时压力反馈。
内置电磁屏蔽技术，抑制电磁干扰（EMI），保障信号传输可靠性。
模块化与兼容性
支持标准螺纹接口（如1/2-20UNF、M20×1.5），适配多种真空系统管路。
兼容莱宝TTR91、CTR100等系列真空计，形成多层级监测解决方案。
技术规格
参数规格
型号LEYBOLD TR211
传感器类型热导式（皮拉尼规）
测量范围5×10⁻⁴至1000毫巴
温度补偿范围0°C至40°C
响应时间<5毫秒
防护等级IP65
接口类型1/2-20UNF、M20×1.5等
应用领域
半导体制造：监测晶圆加工过程中的真空环境，保障薄膜沉积精度。
真空镀膜：控制镀膜腔体压力，优化金属或光学膜层质量。
制冷系统：检测制冷剂泄漏及压缩机运行状态，提升能效。
实验室研究：用于材料科学、真空物理实验中的压力校准。
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各品牌DCS、PLC备件：
Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等
德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。
ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。
GE燃机卡件IS200系列，DS200系列
Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、
CompactLogix/1769/1768、
Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。
Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。
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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。
Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
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