产品核心摘要
- 型号: MKS 902-1112 (MKS Instruments)
- 品牌: MKS Instruments (美国)
- 系列: 902 系列 压电绝对压力真空计
- 核心功能: 大气至粗真空范围（1000 Torr）的绝对压力测量，与气体种类无关
- 成色: 全新原装 (New Surplus)，非翻新
- 产品类型: 压电式真空传感器 / 压力变送器 (Piezo Vacuum Transducer)
- 关键规格: 量程 0.1-1000 Torr / 接口 KF16 / 输出 0-10V + RS485
产品深度介绍
在半导体刻蚀或PVD镀膜工艺里，腔体压力的精确控制直接决定产品良率。MKS 902-1112就是干这个活的——它属于902系列压电绝对压力真空计，采用MEMS硅压阻传感器和316不锈钢膜片，测量结果是真正的绝压，跟气体成分没关系。这就比热导式真空计实在得多，后者会被气体种类带偏，测出来的数不一定靠谱。拆开包装能闻到淡淡的金属味，传感器头是亮面的不锈钢，KF16法兰接口做工挺规整。
这个型号的压电传感器有几个地方值得说道。第一，固态压电传感器耐造——不怕空气涌入冲击，也不怕振动，这在频繁抽真空放气的场合是个实打实的优势。第二，它的紧凑设计把传感器和信号处理电路集成在一起，装进系统不占地方。第三，通信选项灵活：既给0-10V模拟量输出，又带了RS485数字接口。数字口的好处是能读到更精确的压力值，还能做诊断和参数设置。不过有一点需要注意——官方资料显示工作温度上限只有50°C，别往高温腔体上硬装。如果是用在冷冻干燥、真空包装或者一般工业真空系统里，这玩意儿性价比相当不错。
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 制造商 | MKS Instruments |
| 型号 | 902-1112 |
| 测量原理 | MEMS压阻式 (Piezoresistive) |
| 压力类型 | 绝对压力 |
| 满量程范围 | 1000 Torr |
| 有效测量范围 | 0.1 ~ 1000 Torr (部分资料标注从10 Torr起) |
| 精度 | 100-1000 Torr: ±1% of Reading |
| 重复性 | 100-1000 Torr: ±0.3% of Reading |
| 接口类型 | NW16 ISO-KF (KF16) |
| 模拟输出 | 0-10 VDC (线性 10 mV/Torr) |
| 数字通信 | RS485 或 RS232 (视具体选项) |
| 供电 | 9-30 VDC, <1.2W |
| 裸露材质 | 316 不锈钢 (工艺介质接触面) |
| 工作温度 | 0°C 至 50°C |
| 最高烘烤温度 | 85°C ~ 100°C (非工作状态) |
| 超压极限 | 1500 Torr |
| 安装方向 | 任意方向 |
| 重量 | 约 0.17 kg (KF16法兰) |
