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Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3技术规格
产品型号：CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3
制造商：安川电机（Yaskawa）
产品类型：专用伺服驱动器（Servo Drive）
所属系列：PR系列（TEL设备定制款）
输入电压：200V AC（±10%）
额定输出功率：1.0kW
额定输出电流：6.0A
控制模式：位置模式（脉冲指令）、速度模式（模拟量）
指令接口：脉冲+方向信号、±10V模拟量
通信协议：支持TEL设备专用总线
工作温度：0℃~40℃（无冷凝）
存储温度：-20℃~60℃
安装方式：面板式安装（适配TEL设备控制柜）
认证：CE、UL（符合半导体洁净室标准）
Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3产品概述
Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3这台伺服驱动器，是安川专门给东京电子（TEL）半导体设备“量身定做”的——论精密控制，在半导体圈子里能排得上号！它的核心活儿，就是把控制器的指令“翻译”成电机的精准动作，让设备里的机械结构在微米甚至纳米级的范围内“听话”移动。
在TEL的光刻、蚀刻设备里，CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3可不是可有可无的角色。比如晶圆台的定位，差一丝一毫就可能让整片晶圆报废，它却能把误差压到微米级以下。这本事，全靠安川自家的伺服算法和定制化硬件——别家驱动器未必能扛住半导体洁净室的“严苛要求”，它却能稳稳定住阵脚。对于追求“零缺陷”的半导体产线来说，Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3就是那个“让人放心的老伙计”。
主要特点和优势
专为半导体设备而生：CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3最牛的地方，是它吃透了TEL设备的“脾气”。从硬件到软件都按半导体洁净室的标准来——外壳防粉尘，内部电路抗干扰，连接线端子都做了防氧化处理，在无尘车间里用个三五年，性能不带掉链子的。
精度能“掐会算”：位置控制时，脉冲指令响应误差小于0.1个脉冲，换算到实际机械动作，就是微米级的准头。这对光刻设备的激光对焦太重要了——差半微米，芯片线路就可能“短路”，有它在，这种风险能降到最低。
切换模式“不卡顿”：位置模式和速度模式切换时，过渡平滑得像“无缝衔接”。比如蚀刻机的喷头，既要快速移动到晶圆上方（速度模式），又要精准停在指定位置（位置模式），CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3能让这两个动作“一气呵成”，不耽误产线节拍。
抗干扰是“硬功夫”：半导体设备里电机多、信号密，容易互相“捣乱”。它自带的电磁兼容（EMC）设计，能把外界的电噪声“挡在门外”，保证指令信号“干干净净”——这在精密伺服控制（Servo Control）里，可是保命的本事。
（英文内容）
The Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3 is a tailor-made servo drive for TEL semiconductor equipment,engineered to deliver sub-micron precision critical in lithography and etching processes.Its 0.1-pulse position error and seamless mode switching(position/velocity)ensure flawless motion control for wafer stage positioning and nozzle alignment.
Built to thrive in cleanrooms,it features dust-resistant enclosures,anti-oxidation terminals,and robust EMC shielding to withstand electrical noise in dense semiconductor setups.Compatible with TEL’s proprietary bus protocol,it integrates seamlessly into existing lines,minimizing downtime during upgrades.A trusted workhorse in high-yield fabs,this drive combines Yaskawa’s servo expertise with TEL-specific optimizations—reliability redefined for microelectronics manufacturing.
应用领域
Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3几乎是TEL光刻设备的“标配”。比如在沉浸式光刻系统里，它控制晶圆台的X/Y轴移动，确保晶圆和光刻镜头的相对位置误差不超过0.5微米——这直接关系到芯片线路的清晰度，容不得半点马虎。
蚀刻设备也离不了它。等离子蚀刻机的喷头需要精准控制高度（离晶圆表面2-3mm），高了蚀刻不均，低了可能刮伤晶圆。CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3能把这个高度误差锁在±0.1mm内，保证蚀刻出来的电路“横平竖直”。
在薄膜沉积设备（比如CVD）里，它控制载片台的旋转速度，让薄膜厚度均匀性达到99%以上。对半导体制造来说，这种一致性就是“良率的保证”——用它的产线，报废的晶圆能少一大半。
相关产品
Yaskawa SGMPS-01A2A6C：与CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3配套的伺服电机，1.0kW功率，精度匹配，是TEL设备的“黄金搭档”。
Yaskawa CACR-PR02AE4ESY6：同系列2.0kW型号，输出电流更大，适合TEL重型负载设备，比如晶圆搬运机械臂。
TEL G2286-003784-1：TEL设备专用信号线缆，连接CACR-PR01AE4ESY6与控制器，抗干扰性能拉满。
Yaskawa JUSP-NS500：调试软件，能给CACR-PR01AE4ESY6校准参数、监控波形，让它在TEL设备里“状态更佳”。
Yaskawa CACR-HR01BE：通用型替代款，若TEL设备升级，它能兼容CACR-PR01AE4ESY6的接口，降低替换成本。
安装与维护
安装前准备：装CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3前，先查清楚TEL设备控制柜的电源——必须是200V AC，波动不能超±10%，不然容易烧模块。接线时认准端子编号，脉冲线和动力线要分开走，别捆在一起“打架”。对了，洁净室里安装得戴无尘手套，别把指纹印在散热片上，影响散热。
维护建议：平时多留意驱动器的状态灯——绿灯常亮就没事，红灯闪了赶紧看说明书，大概率是过载或信号断了。每半年用压缩空气（得是洁净室专用的）吹吹散热孔的灰，别让粉尘堵了风道。换线时记得用TEL原配线缆，别随便找根线代替——信号不对，精度就没保证了。
产品保障
深圳长欣（深圳长欣）供应的Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3均为原厂正品，带12个月质保。咱技术团队熟得很——从安装接线到参数调试，一个电话就上门，保准让它在你的TEL设备里“顺顺当当”干活。要是真出了非人为的毛病，免费修、免费换，绝不耽误产线。
（英文内容）
Shenzhen Changxin delivers 100%genuine Yaskawa CACR-PR01AE4ESY6 TEL G2286-003783-3 drives with a 12-month warranty,covering manufacturing defects.Our TEL-specialized engineers provide on-site support—from installation to parameter tuning—ensuring seamless integration into your fab lines.
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