APTECH DOT 4B 260/NSI541-210/M5900.FA-04-18 ATCS-15
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APTECH DOT 4B 260/NSI541-210/M5900.FA-04-18 ATCS-15

宽范围压力与流量控制

入口压力支持真空至4,500 psig（310 bar），出口压力可调范围从绝对压力至10,000 psig（690 bar），适应复杂工艺需求。

流量覆盖几sccm至数千slpm，支持氮气（N₂）、氧气（O₂）等特种气体的精准输送。

模块化与集成设计

集成调压阀、流量开关及安全阀功能，减少管路连接点，降低泄漏风险。

支持气动或手动驱动，兼容现场总线协议（如EtherCAT、PROFINET），便于自动化系统集成。

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描述

APTECH DOT 4B 260/NSI541-210/M5900.FA-04-18 ATCS-15气体控制组件产品简介

产品概述

型号：DOT 4B 260/NSI541-210/M5900.FA-04-18 ATCS-15是APTECH（美国AP Tech公司）开发的集成式气体控制组件，专为超高纯度气体输送系统设计。该组件结合调压阀、流量控制与安全保护功能，适用于半导体制造、化工生产及精密仪器设备，确保气体压力稳定、流量精准且符合行业最高纯度标准。

主要特点和优势

超高纯度气体处理

采用SS 316L不锈钢材质，表面光洁度达Ra 10μin（0.25μm），减少杂质污染，满足半导体行业对气体纯度的严苛要求。

内部密封采用金属对金属设计，泄漏率低于2×10⁻¹⁰sccs（标准条件下），确保系统无污染。

宽范围压力与流量控制

入口压力支持真空至4,500 psig（310 bar），出口压力可调范围从绝对压力至10,000 psig（690 bar），适应复杂工艺需求。

流量覆盖几sccm至数千slpm，支持氮气（N₂）、氧气（O₂）等特种气体的精准输送。

模块化与集成设计

集成调压阀、流量开关及安全阀功能，减少管路连接点，降低泄漏风险。

支持气动或手动驱动，兼容现场总线协议（如EtherCAT、PROFINET），便于自动化系统集成。

工业级可靠性

防护等级达IP65，适应高温（-40℃至71℃）与高湿度环境。

内置过压保护与故障自诊断功能，支持快速响应异常状态。

技术规格

参数项规格值

型号DOT 4B 260/NSI541-210/M5900.FA-04-18 ATCS-15

材质SS 316L不锈钢

入口压力范围真空至4,500 psig（310 bar）

出口压力范围绝对压力至10,000 psig（690 bar）

流量范围几sccm至数千slpm

密封类型金属对金属密封

防护等级IP65

工作温度-40℃至71℃

通信协议EtherCAT、PROFINET

应用领域

半导体制造：用于晶圆厂中特种气体（如Ar、Cl₂）的精准输送与压力控制。

化工生产：集成于反应釜、蒸馏塔等设备的气体供应系统。

精密仪器：为质谱仪、光刻机等设备提供洁净、稳定的气体环境。

能源领域：支持燃料电池测试与氢气储存系统的安全控制。

 

 

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1.凡本公司出售的物品，模块卡件等，质保期内正常使用出现的质量问题免费换新，绝不推诿扯皮。

2.超出质保期的未停产物资设备，出现质量问题仅收取相关配件成本费用。

3.已停产的物资设备，提供代替型号及设备更换流程服务。

4.客户已购买的物资设备，终生免费升级系统软件，相关技术资料免费提供。

5.不定时回访客户所购物资使用情况，如有问题及时解决。

6.公司热线24小时提供服务，客户提出的问题1小时内做出答复。

7.未尽事宜，公司本着”服务周到、负责到底”的态度，从客户的角度出发实实在在解决问题，以认真严谨的企业作风，竭诚为每一位客户服务。

我们是专业提供工业自动化领域的备件服务商，我们主营PLC模块，DCS卡件，ESD系统卡件，振动监测系统卡件，汽轮机控制系统模块，燃气发电机备件，我们与****的多家PLC，DCS产品维护服务供应商建立了紧密的合作关系。

公司经销产品广泛应用于数控机械 冶金、石油天然气、石油化工、化工、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等行业。

公司主营产品，优势供应，充足库存：

各品牌DCS、PLC备件：

Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等

德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。

ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。

GE燃机卡件IS200系列，DS200系列

Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、

CompactLogix/1769/1768、

Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。

Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。

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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。

Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

UFC921A101 3BHB024855R0101

UFC911B106 3BHE037864R0106

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MG160MD2-42FF300-F1

ABB S-073N ALU 3BHB009884R5211

ABB S-093H 3BHB030478R0309

ABB S-123H 3BHB030479R0512

ABB UFC912A101 3BHE039426R0101

ABB 5SHY4045L0001 3BHB018162R0001

ABB S-113N 3BHB018008R0001

W4

KUC755AE105 3BHB005243R0105

HIEE401807R0001

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STRAUB FLEX1L

TB820V2

S-053M 3BHB012897R003 *12

3BHB014556R0001

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CDP312R

XVC768AE102

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KU C755AE105

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XVC769AE101

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UAC389AE02

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PPC905AE101

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ABB PM866AK02

ABB AC800M 3BSE053240R1 PM891

ABB PFSK152

ABB PFSK151

OKOS AL8XGTE-3

woodward 8200-1302

ABB 5SHY4045L0004

GE V7768-320001 350-9301007768-320001 A2

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ABB 5SHY3545L0014 3BHE019719R0101

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GE IS215UCVEH2AE+TPMC815-11=IS215UCVEM08B

ABB PPD113

ABB RET670

ABB RET670 1MRK004816-AC

ABB 5SHY4045L0006 3BHB030310R0001

jdsu 2213-75TSLKTB

Agilent 5517B

TRICON 3009

ABB 5SHY3545L0010/3BHB013088R0001

MOTOROLA MVME2434

MOTOROLA MVME2432

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