MKS 153D-4-100-2 | 智能排气节流阀 真空压力控制 现货
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MKS 153D-4-100-2 | 智能排气节流阀 真空压力控制 现货

  • 型号: 153D-4-100-2
  • 品牌: MKS Instruments（美国万机仪器）
  • 系列: 153D 智能排气节流阀系列
  • 核心功能: 通过精确调节阀板开度，控制真空腔体抽气速率，实现工艺压力稳定
  • 产品类型: 电动角行程真空节流阀 / 排气调节阀
  • 关键规格: DN100口径；步进电机驱动；0-90°角行程；KF法兰接口
  • 成色: 全新原装 (New Surplus)，非翻新
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分类：
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描述

 

关键技术规格

主要参数 规格/描述
完整型号 153D-4-100-2（153D=系列，4=驱动/控制类型，100=通径DN100，2=特定选项）
品牌 MKS Instruments
产品类型 智能排气节流阀（Smart Exhaust Throttle Valve）
阀门结构 蝶形阀板，机械传动带余弦发生器，线性化阀门传输特性
驱动方式 集成式步进电机驱动（无皮带传动）
阀板行程 0°（全关）至 90°（全开）
公称通径 DN100（约4英寸）
法兰接口 KF-100 (ISO Quick Flange) 或 4英寸 ASA/CF 法兰（视具体配置）
控制模式 两种模式：阀板定位（Flapper Positioning）或压力控制（Pressure Control）
控制信号 0-10V DC 模拟量设定点；RS-232 双向通讯
位置反馈 集成电位计/编码器，0-10V 反馈信号，分辨率 1/10,000
响应时间 全行程（0-90°）约 7.5 秒
供电电压 +14V 至 +30V DC，功耗 < 5W
氦泄漏率 < 1×10⁻⁸ scc/sec（全关状态）
最大压差 1 个大气压（15 psig）
工作温度（阀体） 0°C 至 90°C
工作温度（电子模块） 15°C 至 40°C
状态指示 光耦隔离限位开关（开/关各一个），30V max, 10mA

 

 

产品深度介绍

A）技术定位直入: MKS 153D-4-100-2 属于153D系列，定位是集成式智能排气节流阀，专门用于高真空和中真空系统中精确控制腔体压力。这个型号的独特之处在于，它把控制电路、通信接口和驱动电路全部集成在253B型节流阀组件的一个紧凑扩展模块里。简单说就是：不需要外接独立的压力控制盒，直接用模拟量或RS-232信号就能驱动它工作。

B）核心价值主张: 153D-4-100-2能工作在“阀板定位”和“压力控制”两种模式。阀板定位模式下，你给一个0-10V信号，阀板就走到对应的角度；压力控制模式下，阀门根据压力设定点自动调节开度，相当于一个闭环PID执行器。集成电位计提供位置反馈，分辨率达到1/10,000，这意味着对阀板位置的监控精度非常高。

传动机构用的是带余弦发生器的机械结构，目的是让阀板角度和气流导纳（Conductance）之间呈现线性关系。这个细节对工艺工程师来说很关键——如果阀板角度和实际流量不是线性关系，那压力控制曲线就会变得很难调。

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