MKS 153D-4-100-2 排气节流阀 | 真空系统气压调节阀
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MKS 153D-4-100-2 排气节流阀 | 真空系统气压调节阀

产品核心摘要
  • 型号：​ 153D-4-100-2
  • 品牌：​ MKS
  • 系列：​ 153D
  • 核心功能：​ 安装在真空系统排气管道上，通过调节开度来控制腔体抽气速率或稳定工作气压。
  • 产品类型：​ 真空节流阀 / 排气调节阀 (Exhaust Throttle Valve)
  • 关键规格：​ 高真空应用；气动/电动驱动；适用于 2.75英寸 CF法兰
  • 成色：全新原装 (New Surplus)，非翻新
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描述

产品核心摘要

  • 型号：​ 153D-4-100-2
  • 品牌：​ MKS
  • 系列：​ 153D
  • 核心功能：​ 安装在真空系统排气管道上，通过调节开度来控制腔体抽气速率或稳定工作气压。
  • 产品类型：​ 真空节流阀 / 排气调节阀 (Exhaust Throttle Valve)
  • 关键规格：​ 高真空应用；气动/电动驱动；适用于 2.75英寸 CF法兰
  • 成色：全新原装 (New Surplus)，非翻新

产品深度介绍在真空镀膜机或刻蚀机的管道上，总能看见这么一个“卡脖子”的装置。它不是主阀，但作用很关键——通过限制排气通道的大小，就像水龙头的阀门一样，来精细调节真空腔室的压力变化速度和最终稳定度。MKS 153D-4-100-2 就是干这个的，业内叫它“排气节流阀”。这东西听起来简单，但对稳定工艺压力至关重要。它装在真空泵和工艺腔室之间的管路里，通过一个蝶形或锥形阀片的开合角度来控制气流。153D 系列通常用气动执行器，响应快，用 0-100 psi 的控制气压就能精确驱动阀片。型号里的“2.75英寸 CF”指明了它的接口尺寸，这是高真空系统的标准连接方式之一。别小看它的结构，阀体材质、密封圈耐腐蚀性和执行器的线性度，直接决定了工艺重复性的好坏。关键技术规格

项目 规格/描述
品牌与型号 MKS Instruments 153D-4-100-2
产品系列 153D 型真空节流阀
阀门功能 排气节流/调压 (Exhaust Throttling)
驱动方式 气动 (Pneumatic) 执行器 (常见)，可能需要 0-100 psi (0-7 bar) 的控制气源
法兰接口 通常为 2.75英寸 (70 mm) 双面 CF (ConFlat) 法兰，带金属密封圈
流量系数 (Cv) 具体数值需查原厂资料，通常与阀门开度曲线相关
泄漏率 (Leak Rate) 阀体关闭状态下，满足高真空应用要求 (通常 < 1×10-9atm cc/sec He)
工作温度范围 阀体：常温至约 150°C (烘烤时需注意)；执行器：常规环境温度
阀体材质 通常为 304 或 316L 不锈钢，内部件可能为铝合金
密封件材质 阀座密封通常为氟橡胶 (Viton) 或全氟醚橡胶 (Kalrez)，适用于腐蚀性环境
控制信号 气动驱动，通常需要一个 I/P 转换器 (电流/气压转换器) 将 4-20 mA 信号转为 3-15 psi 气动信号
适用真空范围 高真空 (High Vacuum) 至粗真空 (Rough Vacuum) 范围
主要应用领域 半导体制造、光伏镀膜、光学镀膜、真空炉等需要精密控制抽气速率的工艺
备注 此阀门是精密真空组件，安装时需确保法兰面清洁，并按标准扭矩对角拧紧螺栓。
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