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产品核心摘要
- 型号： 153D-4-100-2
- 品牌： MKS
- 系列： 153D
- 核心功能： 安装在真空系统排气管道上，通过调节开度来控制腔体抽气速率或稳定工作气压。
- 产品类型： 真空节流阀 / 排气调节阀 (Exhaust Throttle Valve)
- 关键规格： 高真空应用；气动/电动驱动；适用于 2.75英寸 CF法兰
- 成色：全新原装 (New Surplus)，非翻新
产品深度介绍在真空镀膜机或刻蚀机的管道上，总能看见这么一个“卡脖子”的装置。它不是主阀，但作用很关键——通过限制排气通道的大小，就像水龙头的阀门一样，来精细调节真空腔室的压力变化速度和最终稳定度。MKS 153D-4-100-2 就是干这个的，业内叫它“排气节流阀”。这东西听起来简单，但对稳定工艺压力至关重要。它装在真空泵和工艺腔室之间的管路里，通过一个蝶形或锥形阀片的开合角度来控制气流。153D 系列通常用气动执行器，响应快，用 0-100 psi 的控制气压就能精确驱动阀片。型号里的“2.75英寸 CF”指明了它的接口尺寸，这是高真空系统的标准连接方式之一。别小看它的结构，阀体材质、密封圈耐腐蚀性和执行器的线性度，直接决定了工艺重复性的好坏。关键技术规格
| 项目 | 规格/描述 |
|---|---|
| 品牌与型号 | MKS Instruments 153D-4-100-2 |
| 产品系列 | 153D 型真空节流阀 |
| 阀门功能 | 排气节流/调压 (Exhaust Throttling) |
| 驱动方式 | 气动 (Pneumatic) 执行器 (常见)，可能需要 0-100 psi (0-7 bar) 的控制气源 |
| 法兰接口 | 通常为 2.75英寸 (70 mm) 双面 CF (ConFlat) 法兰，带金属密封圈 |
| 流量系数 (Cv) | 具体数值需查原厂资料，通常与阀门开度曲线相关 |
| 泄漏率 (Leak Rate) | 阀体关闭状态下，满足高真空应用要求 (通常 < 1×10-9atm cc/sec He) |
| 工作温度范围 | 阀体：常温至约 150°C (烘烤时需注意)；执行器：常规环境温度 |
| 阀体材质 | 通常为 304 或 316L 不锈钢，内部件可能为铝合金 |
| 密封件材质 | 阀座密封通常为氟橡胶 (Viton) 或全氟醚橡胶 (Kalrez)，适用于腐蚀性环境 |
| 控制信号 | 气动驱动，通常需要一个 I/P 转换器 (电流/气压转换器) 将 4-20 mA 信号转为 3-15 psi 气动信号 |
| 适用真空范围 | 高真空 (High Vacuum) 至粗真空 (Rough Vacuum) 范围 |
| 主要应用领域 | 半导体制造、光伏镀膜、光学镀膜、真空炉等需要精密控制抽气速率的工艺 |
| 备注 | 此阀门是精密真空组件，安装时需确保法兰面清洁，并按标准扭矩对角拧紧螺栓。 |
