MKS 220DD-00100D2B

描述

产品概述

MKS 220DD-00100D2B 是 MKS 220DD 系列中的一款通用差压电容式压力计。其核心功能是精确测量两个压力点之间的微小差值(满量程为 100 Torr)。该设备采用电容式传感技术，通过检测薄膜在压力差作用下的微小形变引起的电容变化来实现高精度测量。产品设计坚固，采用 316L 不锈钢传感器主体和 NEMA 1 钢制外壳，适合在工业环境中使用。其内置的温度控制功能有效提升了零点和量程的长期稳定性，减少了由环境温度波动引起的测量误差 。

主要特点与优势

高精度与高分辨率：该设备提供高达 ±0.15% FS 的精度和 0.01% FS 的分辨率，使其能够可靠地检测极小的压力变化，这对于需要精密压力控制或监控的工艺环节至关重要 。

坚固的工业设计：其 NEMA 1 级外壳为内部精密元件提供了良好保护，能够适应具有一定粉尘和轻微液体滴溅的工业环境，确保了在苛刻条件下的耐用性 。

温度稳定性：集成的温度控制功能是其在宽泛工作温度范围内(-20°C 至 +70°C)保持测量稳定性的关键，特别适用于环境温度波动较大的场合 。

安装与连接便利：标准的 1/2 英寸直管接头和通用的 IEC C14 电源接口使其安装和接线简便，降低了集成难度 。

典型应用

这款差压计广泛应用于多种工业领域，包括：

半导体制造：监测化学气相沉积 (CVD)、蚀刻等关键工艺腔室内的压力平衡。

真空工艺：用于真空炉、镀膜系统的真空度监测与控制。

气体流量测量与控制：与节流装置配合，精确测量气体管路中的流量。

环境监测与测试设备：在需要高精度差压测量的分析仪器和校准设备中发挥作用 。

选型与使用建议

在选择和使用 MKS 220DD-00100D2B 时，建议您：

确认量程需求：确保其 100 Torr 的满量程符合您的应用压力范围。

评估环境条件：核实安装地点的环境温度是否在其工作温度范围内，并确保其防护等级能满足现场环境要求。

电源配置：在通电前，务必根据所在地的电网标准(115VAC 或 230VAC)正确设置设备内部的电压选择开关，避免损坏 。

常见问题 (FAQ)

Q1：该差压计的两个压力接口是否可以承受较高的静压？

A1：是的，MKS 220DD 系列差压计通常设计有较高的共模压力承受能力。但具体的最大静压值需要查阅该型号详细的技术数据手册予以确认 。

Q2：设备的零点是否需要频繁校准？

A2：由于其内置了温度控制功能，零点的漂移得到了有效抑制，稳定性较好。校准周期取决于应用的严苛程度和对精度的要求，但通常无需频繁校准 。