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关键技术规格 | Key Technical Specifications
| 参数项 | 规格值 | 备注 |
|---|---|---|
| 品牌与型号 | MKS Baratron® 626A01TBE | 完整原厂型号 |
| 压力类型 | 绝压 (Absolute Pressure) | 相对于真空零点的压力 |
| 测量量程 | 1000 Torr (133.3 kPa) | 全量程，约 1.3 个大气压 |
| 精度 (典型) | 读数的 ±0.12% | 在 23±5°C 下，包括非线性、迟滞和重复性 |
| 长期稳定性 | 优于 0.2% FS / 年 | 满量程百分比，具体以原厂手册为准 |
| 输出信号 | 模拟电压 0-10 VDC | 线性对应 0-100% 量程 |
| 传感器材料 | 316L 不锈钢， Inconel® 膜片 | 适用于腐蚀性、无油洁净气体环境 |
| 过程连接 | CF 法兰 或 VCR® 接口 | 常用配置，具体接口需确认 |
| 电气连接 | 工业标准圆形连接器 (如 D-sub) | 具体引脚定义需查手册 |
| 供电要求 | ±15 VDC (典型) | 需匹配 MKS PDR 系列或兼容电源/控制器 |
| 工作温度 | 传感器: 最高 100°C; 电子部件: 0-50°C | 需注意环境温度限制 |
| 预热时间 | 典型 30 分钟 | 以达到标称精度所需时间 |
| 零点调节 | 可通过外部电位器或控制器软件调节 | 用于零位校准 |
产品深度介绍 | Product Introduction
MKS 626A01TBE 是 MKS Instruments 旗下知名的 Baratron® 系列电容式薄膜真空计中的一款核心传感器。它采用高精密的 Inconel 膜片作为感应元件，通过检测膜片因压力差产生的形变所引起的电容变化来测量压力，其测量结果与被测气体种类无关，这是其区别于皮拉尼计等工具的重要优势。该型号 1000 Torr 的量程使其非常适合中高真空范围的精确测量与控制。
该传感器的核心价值在于其卓越的精度、优异的长期稳定性和对各类工艺气体的良好兼容性。它不惧蒸汽、可凝性气体和腐蚀性气体（与膜片材料兼容前提下），是半导体 CVD、PVD、真空炉、等离子工艺以及科研领域中进行稳定、可重复压力测量的行业标准选择之一。作为一款精密仪器，其性能发挥依赖于洁净的安装、正确的供电（通常需匹配 MKS PDRC 或类似型号的电源/控制器）和定期的零点校准。此型号为全新原装，适用于新系统集成或替换老旧传感器，是保障工艺稳定性和产品良率的关键部件。
