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关键技术规格
表格
| 参数项 | 规格数值 |
|---|---|
| 产品型号 | 902-1112 (PVD21) |
| 测量原理 | 压电电阻 (Piezoresistive) |
| 测量范围 | 1000 Torr (绝压) |
| 电源电压 | ±15 VDC |
| 输出信号 | 模拟量 (0-10 VDC) / RS-485 (数字) |
| 接口类型 | KF16 / CF 法兰 (需核对实物) |
| 工作温度 | 0°C 至 50°C |
| 精度 | 满量程的 ±0.2% |
| 材质 | 304 不锈钢 / 铝 |
| 重量 | 约 0.3 kg |
产品深度介绍
MKS 902-1112 是一款属于 PVD21 系列的压电式真空传感器，专为工业环境下的真空测量而设计。该模块利用压电电阻技术，能够在从大气压到粗真空（1000 Torr）的范围内提供高精度的压力读数。由于其测量原理不依赖气体种类，因此在成分复杂或变化的工艺环境中仍能保持稳定的测量结果。它通常配备 RS-485 数字接口和模拟输出，便于集成到各类自动化控制系统中。
作为一款成熟的工业级传感器，902-1112 以其坚固的结构和抗污染能力著称，特别适合在半导体制造、真空镀膜以及一般的工业真空应用中使用。相比热传导规管，它在高压端的线性度更好，且不受环境温度波动的显著影响。对于需要替换旧款 PVD21 探头或升级现有真空监测系统的工程师来说，这是一个可靠的原厂兼容选择。
