ZYGO 1115-801-346 | 非球面检测系统专用板卡

描述

产品概述

ZYGO 1115-801-346​是ZYGO公司（现为阿美特克集团旗下品牌）生产的一款高性能光学干涉仪控制板卡模块，属于ZYGO光学测量系统的核心控制组件。该模块采用先进的工业级设计，专为精密光学测量和计量应用设计，主要用于控制ZYGO干涉仪的光源系统、图像采集单元和数据处理模块，实现高精度的光学表面形貌测量。

作为ZYGO光学测量系统的关键控制单元，1115-801-346​模块在系统架构中承担着核心的实时控制任务。它负责协调激光光源的稳定输出、干涉条纹的实时采集、移相器的精确控制以及测量数据的快速处理。模块的设计理念充分考虑了光学测量的高精度要求，采用低噪声电路设计和严格的电磁兼容性（EMC）防护，确保在复杂的工业环境中仍能保持稳定的测量性能。

ZYGO 1115-801-346​主要适用于非球面光学元件的面形检测、精密光学镜片的表面质量评估、半导体晶圆的平整度测量等关键应用场景。在这些高精度测量任务中，模块的稳定性和可靠性直接决定了整个测量系统的性能表现。通过精确控制干涉光路的相位调制和快速采集干涉条纹图像，该模块能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度，满足现代精密制造对光学计量提出的苛刻要求。

技术规格

产品型号：ZYGO 1115-801-346

制造商：ZYGO Corporation

产品类型：光学干涉仪控制板卡

输入电压：DC 24V±10%

输出电流：最大2.5A

输出功率：60W

工作温度：0°C至+60°C

存储温度：-40°C至+85°C

相对湿度：5%至95%（无冷凝）

防护等级：IP20

尺寸：120mm×80mm×40mm

重量：0.3kg

通信接口：RS-232/RS-485，以太网

控制精度：相位控制精度优于0.1nm

主要特点和优势

ZYGO 1115-801-346​的核心竞争力体现在其卓越的测量精度、稳定的控制性能和强大的环境适应性。该模块采用ZYGO专利的移相控制技术，能够实现高精度的相位调制，确保干涉条纹的稳定性和重复性。在光学测量领域，相位控制的精度直接决定了最终测量结果的准确性，1115-801-346​的相位控制精度优于0.1nm，这一指标达到了国际领先水平。

模块的多重保护功能是其高可靠性的重要保障。内置过压保护、过流保护、短路保护和过热保护机制，当检测到异常情况时能够快速切断危险回路，保护后端设备免受损坏。在工业现场应用中，电源波动、电磁干扰等环境因素不可避免，这些保护功能能够有效防止因外部干扰导致的设备故障，显著提高了系统的可用性和维护性。

高精度相位控制：采用数字移相技术，相位控制精度优于0.1nm，确保干涉测量的高重复性

多重保护机制：内置过压、过流、短路、过热保护，提高系统可靠性

工业级设计：工作温度范围0°C至+60°C，相对湿度5%-95%，适应恶劣工业环境

快速响应：控制响应时间小于10ms，满足动态测量需求

低噪声设计：采用低噪声电源电路和电磁屏蔽技术，减少测量误差

易于集成：支持多种通信协议，便于与上位机系统集成

模块化设计：支持热插拔，便于维护和更换

The ZYGO 1115-801-346 is a high-performance control board module specifically designed for optical interferometer systems.This module serves as the core control unit in ZYGO’s precision optical measurement platforms,providing exceptional phase control accuracy and system reliability.Engineered with industrial-grade components and rigorous manufacturing processes,it features advanced phase-shifting control technology with sub-nanometer precision,ensuring stable and repeatable interference fringe acquisition.The module incorporates comprehensive protection mechanisms including overvoltage,overcurrent,short-circuit,and thermal protection,making it suitable for demanding industrial environments.With multiple communication interfaces and modular design,it offers seamless integration with host systems and facilitates easy maintenance.The 1115-801-346 module is optimized for applications requiring high-precision optical surface metrology,such as non-spherical optics testing,semiconductor wafer inspection,and precision lens manufacturing,delivering nanometer-level measurement accuracy and robust performance in challenging operating conditions.

应用领域

ZYGO 1115-801-346​在精密光学制造和质量控制领域具有广泛的应用价值。该模块主要应用于以下典型场景：

在非球面光学元件制造领域，1115-801-346​作为干涉仪的控制核心，负责高精度检测非球面镜的面形误差。非球面光学元件在现代光学系统中应用越来越广泛，如手机摄像头、激光光束整形系统、光刻物镜等，这些应用对非球面元件的面形精度要求极高，通常需要达到λ/10甚至更高的精度。1115-801-346​通过精确控制移相器和快速采集干涉条纹，能够实现非球面元件的快速、高精度检测，确保制造过程中的质量控制。

在半导体制造领域，该模块用于晶圆平整度检测系统。随着半导体工艺节点的不断缩小，晶圆的平整度对光刻工艺的良率影响越来越大。1115-801-346​控制的干涉仪能够快速扫描晶圆表面，检测其平整度、翘曲度等关键参数，为工艺优化提供数据支持。模块的高稳定性和快速响应能力确保了检测过程的可靠性和效率。

非球面光学元件面形检测：用于手机摄像头、激光光束整形系统、光刻物镜等非球面镜的制造过程质量控制

半导体晶圆平整度测量：检测晶圆表面平整度、翘曲度，为光刻工艺优化提供数据支持

精密光学镜片表面质量评估：检测镜片表面粗糙度、面形误差等参数，确保光学系统性能

航空航天光学系统测试：用于空间望远镜、卫星光学载荷等关键光学系统的面形检测

医疗器械光学元件检测：如内窥镜、显微镜等医疗光学设备的镜片质量检验

汽车激光雷达光学系统：用于激光雷达发射/接收光学元件的面形检测和装配对准

集成与配置要点

将ZYGO 1115-801-346​集成到现有系统时，需要注意以下几个关键配置要点：

该模块在ZYGO MetroPro软件平台中进行组态和参数设置。MetroPro是ZYGO专用的光学测量软件，提供了完整的测量流程控制、数据分析、报告生成等功能。在软件中，需要配置测量模式（平面模式、球面模式、非球面模式）、移相步数、曝光时间、滤波参数等关键参数。对于非球面检测应用，还需要配置CGH（计算全息）补偿参数，以补偿非球面波前的像差。

在硬件连接方面，模块通过专用的控制接口与干涉仪主机、激光光源、CCD相机等外围设备连接。电源连接需要特别注意，必须使用稳定的DC 24V电源，电源纹波应小于50mV，以确保模块的稳定工作。通信接口支持RS-232/RS-485和以太网，可根据系统需求选择合适的通信方式。在总线通信中，地址分配需要避免冲突，建议使用DHCP自动获取IP地址或手动设置固定IP地址。

软件平台：使用ZYGO MetroPro软件进行组态，配置测量模式、移相步数、曝光时间等参数

电源要求：DC 24V±10%，纹波小于50mV，建议使用线性电源或低纹波开关电源

通信配置：支持RS-232/RS-485和以太网，地址分配避免冲突，建议使用DHCP或固定IP

固件版本：检查模块固件版本，确保与MetroPro软件版本兼容，必要时进行固件升级

环境要求：工作温度0°C至+60°C，相对湿度5%-95%（无冷凝），避免强电磁干扰环境

校准周期：建议每6个月进行一次系统校准，确保测量精度

生命周期与采购建议

ZYGO 1115-801-346​目前处于成熟期（Mature）​状态，作为ZYGO光学测量系统的核心控制模块，该产品已经过长期的市场验证和用户认可，技术成熟稳定，性能可靠。虽然ZYGO公司不断推出新的产品系列，但1115-801-346​仍然广泛应用于现有系统的维护和升级项目中。

从采购策略来看，该模块主要作为关键备件进行采购。对于正在使用ZYGO光学测量系统的用户，建议根据设备的使用频率和重要性，适当储备1115-801-346​模块作为备件，以应对突发故障导致的停机风险。对于新项目，建议优先考虑ZYGO最新的产品系列，以获得更好的性能和更长的技术支持周期。对于已停产的型号，选择高质量的备件至关重要，因为原厂备件经过严格的质量控制和功能验证，能够确保与现有系统的完全兼容性和长期稳定运行。

深圳长欣作为专业的工业自动化备件供应商，所有ZYGO 1115-801-346​备件均经过全球渠道采购，经过严格的全面检测与功能验证，确保功能完好。我们提供12个月质保与专业技术支持，现货供应，交付快速，为您的设备稳定运行提供可靠保障。

As a mature product in the ZYGO optical measurement system portfolio,the 1115-801-346 control board module continues to serve as a critical component in precision optical metrology applications.While ZYGO has introduced newer product lines,this module remains widely used in existing systems and maintenance projects due to its proven reliability and performance.For procurement strategy,this module is primarily recommended as critical spare parts for users operating ZYGO optical measurement systems.We recommend maintaining appropriate inventory based on equipment usage frequency and criticality to mitigate downtime risks from unexpected failures.For new projects,we advise considering ZYGO’s latest product series to benefit from enhanced performance and extended technical support lifecycle.For obsolete models,sourcing high-quality genuine parts is essential to ensure full compatibility and long-term reliability with existing systems.Shenzhen Changxin provides all ZYGO 1115-801-346 parts through global sourcing channels,with comprehensive testing and functional validation to guarantee performance integrity.We offer 12-month warranty and professional technical support,with stock availability and fast delivery to ensure your equipment’s continuous operation.

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