ZYGO 1115-801-346 | 高精度激光干涉仪测量头

描述

产品概述

在纳米制造与超精密工程的世界里，ZYGO 1115-801-346是“看得见原子尺度变化”的眼睛。该模块是ZYGO双频激光干涉仪系统的关键光学前端，通常安装在被测设备（如光刻机工件台、计量桥、精密导轨）附近，负责将激光束分光、反射并接收返回信号，通过外差干涉原理实时解算出目标镜的位移量。其核心价值在于将ZYGO氦氖（HeNe）激光源的波长稳定性（±0.05 ppm）转化为可溯源至国际单位制（SI）的长度测量，分辨率达皮米至亚纳米级。

我曾参与多个半导体前道设备的验收测试，其中1115-801-346在光刻机双工件台同步定位中发挥了决定性作用：两套干涉仪系统分别监测X/Y方向位移，要求在300 mm行程内非线性误差<±10 nm。1115-801-346凭借其单片熔融石英光学结构、热膨胀系数接近零的设计和抗振动封装，成功抑制了环境温度波动与机械微振带来的漂移。更关键的是，其双频（~2 MHz频差）工作模式使其对空气扰动不敏感——这是传统单频干涉仪无法比拟的优势。正因如此，ZYGO干涉仪成为ASML、Canon、Nikon等光刻机厂商的标准计量工具。

注：型号“1115-801-346”属于ZYGO的Legacy干涉仪产品线，常用于搭配1070系列激光头和ZMI（ZYGO Metrology Interface）信号处理器。

技术规格

项目参数

制造商ZYGO Corporation(AMETEK)

型号1115-801-346

类型双频激光外差干涉仪测量头

适用系统ZYGO Legacy,ZMI,GPI系列

激光波长632.8 nm（HeNe）

频差~2 MHz（典型）

测量分辨率≤0.5 nm（可软件细分至0.1 nm）

非线性误差<±1 nm（经补偿后）

最大测量速度>3 m/s

最大测量距离≥30 m（依激光功率与环境）

光学材料熔融石英（低热膨胀）

接口标准光学安装螺纹（如M6或¼”-20）+光纤/自由空间光路

环境要求需配合环境补偿单元（如4301-00）修正空气折射率

认证NIST可溯源、CE、RoHS

主要特点和优势

✅亚纳米级分辨率：满足半导体、计量、引力波探测等前沿领域需求

✅双频外差技术：抗空气扰动能力强，适合非稳态工业环境

✅高线性与长期稳定性：熔融石英本体，热漂移<0.1 ppm/°C

✅模块化设计：可配置为线性、角度、直线度、平面度等多种测量模式

✅兼容性强：支持ZYGO多代信号处理器（ZMI,7700,etc.）

✅非接触测量：无机械负载，避免影响被测对象动态特性

The ZYGO 1115-801-346 is a high-precision interferometric measurement head engineered for nanometer-level displacement sensing in the most demanding applications—from semiconductor lithography to aerospace metrology.Leveraging ZYGO’s dual-frequency heterodyne laser technology,it delivers exceptional stability,linearity,and immunity to environmental noise.Its robust optical design ensures reliable performance in both laboratory and industrial settings,making it the gold standard for traceable length measurement.

应用领域

半导体制造：光刻机工件台定位、晶圆对准、掩模台校准

精密机床：CNC五轴机床几何误差补偿、主轴热伸长监测

计量实验室：坐标测量机（CMM）校准、标准量块比对

光学制造：非球面镜面形检测、干涉仪参考平面验证

科研装置：粒子加速器束流定位、引力波探测器镜悬系统监测

特别适用于需要SI可溯源、高动态响应与长期重复性的高端测量场景。

安装与使用要点

光路准直至关重要：需使用精密调整架，确保测量光束与目标镜垂直

必须使用环境补偿：空气温度、压力、湿度变化会引入显著误差（1 ppm≈1µm/m）

避免强振动与气流：建议在隔振平台和封闭光路中使用

目标镜需高反射率：推荐使用ZYGO专用镀膜反射镜（如1109-xxxx系列）

定期校准：建议每年送回ZYGO或授权实验室进行非线性校正

⚠️注意：1115-801-346仅为光学头，不含激光源或信号处理器！需搭配ZYGO激光头（如1070-xxxx）和电子箱（如ZMI）才能构成完整系统。

生命周期与采购建议

ZYGO 1115-801-346属于Legacy产品线，虽已逐步被Axiom™或Ultra系列新平台替代，但因全球大量半导体与计量设备仍在使用Legacy系统，该型号仍被AMETEK ZYGO持续支持并可订购。对于新项目，推荐Axiom；但对于现有设备维护、替换或二手系统集成，1115-801-346仍是刚需。

深圳长欣提供100%原装ZYGO 1115-801-346，每只测量头均经过：

外观检查（无划痕、霉斑、脱胶）

光学端面清洁（Class 1000环境）

与标准ZYGO系统通电联调（验证信号强度与噪声水平）

提供出厂序列号与兼容性确认

✅12个月质保｜✅支持NIST溯源文档查询｜✅现货快速交付

我们深知：在纳米世界，一粒灰尘都可能造成测量失效。因此，我们以计量级标准处理每一支ZYGO 1115-801-346，确保您获得的不仅是硬件，更是可信赖的长度基准。

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