ZYGO ZMI-4004

描述

一、产品定位与核心功能

所属系列

ZMI-4004是ZYGO ZMI™系列位移测量电子装置的核心产品，专为高精度位移计量与运动控制设计，适用于半导体制造、光学加工、精密机械及科研领域。

核心作用

纳米级位移测量：基于激光干涉原理，实现亚纳米级分辨率的位移数据采集。

多轴同步控制：支持4通道测量，满足复杂多轴系统的协同控制需求。

实时信号处理：提供毫秒级响应速度，适配动态运动场景。

二、技术参数

参数项规格

分辨率0.15 nm（亚纳米级）

测量范围理论无限制（受干涉仪光程限制）

最大速度±2.55 m/s（动态测量能力）

精度（σ）0.2 nm（最大速度下）

循环误差补偿支持（消除固有非线性误差）

兼容激光器ZMI 7702/7714/7724（双频氦氖激光器）

环境适应性工作温度10°C～35°C，湿度20%～80%

三、核心功能与优势

高精度测量

干涉信号处理：采用专利算法消除振动、温度漂移等干扰，重复性误差≤0.25μm。

多通道同步：4通道独立测量，支持64轴扩展（通过VME机箱模块化配置）。

工业级可靠性

循环误差补偿：自动校正激光干涉仪固有非线性误差，提升长期稳定性。

抗干扰设计：符合EMC工业标准（IEC 61000-6-2），适应车间电磁环境。

系统集成能力

兼容性：无缝对接ZYGO激光干涉仪（如Qualifire™、DWS）、光学轮廓仪等设备。

协议支持：提供VME总线接口，适配工业自动化控制系统（如PLC、SCADA）。

四、典型应用场景

半导体制造

光刻机晶圆台纳米级定位控制、微晶工件台形貌监测。

光学加工

金刚石车削刀具路径修正、非球面透镜曲率半径检测。

精密机械

高精度机床轴向位移补偿、纳米级运动平台校准。

科研实验

量子光学器件位移测量、材料形变分析。

五、技术特性对比

对比项ZYGO ZMI-4004同类产品（如Keyence LK-G5000）

分辨率0.15 nm 0.1 nm

通道数4通道（可扩展至64轴）2通道

环境适应性工业级（IP无明确标注）IP65（防尘防水）

动态范围理论无限制100 mm

循环误差补偿支持不支持

六、关键设计亮点

模块化架构

采用VME机箱扩展设计，支持多板卡并行工作，适配大规模测量系统。

激光兼容性

支持ZYGO ZMI系列激光器（7702/7714/7724），覆盖从实验室到工业环境的全场景需求。

低噪声信号链

通过隔离设计降低光路反射干扰，确保信号纯净度

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各品牌DCS、PLC备件：
Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等
德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。
ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。
GE燃机卡件IS200系列，DS200系列
Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、
CompactLogix/1769/1768、
Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。
Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。
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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。
Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
FOXBORO H92904CC0500
ABB PM866AK02
ABB AC800M 3BSE053240R1 PM891
ABB PFSK152
ABB PFSK151
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ABB 5SHY4045L0004
GE V7768-320001 350-9301007768-320001 A2
ABB 5SHY3545L0014 3BHB013085R0001
ABB 5SHY3545L0014 3BHE019719R0101
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GE IS215UCVEH2AE+TPMC815-11=IS215UCVEM08B
ABB PPD113
ABB RET670
ABB RET670 1MRK004816-AC
ABB 5SHY4045L0006 3BHB030310R0001
jdsu 2213-75TSLKTB
Agilent 5517B
TRICON 3009
ABB 5SHY3545L0010/3BHB013088R0001
MOTOROLA MVME2434
MOTOROLA MVME2432
A-B 81001-450-53-R
ABB PNI800
WOODWARD 9907-164
NI PXIE-4145
ABB CI871K01 3BSE056797R1
MOTOROLA MVME5500-0161
MOTOROLA MVME5500-0163
EMERSON MVME55006E-0163
GE DS200DCFBG1BJB
ABB PPD113B01-10-150000
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TRICONEX 2058
TRICONEX 2101
TRICONEX 2301
TRICONEX 2351
TRICONEX 2481
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TRICONEX 2553
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TRICONEX 2700
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