ZYGO ZMI-4004

描述

ZYGO ZMI-4004产品的技术解析

一、产品定位

ZYGO ZMI-4004是ZYGO公司推出的高精度干涉测量板卡，采用激光干涉技术实现纳米级位移测量与定位，核心应用于精密制造、光学加工及科研领域。其设计聚焦于多轴复杂系统的高分辨率实时监控，满足半导体光刻机、纳米级运动控制等场景需求。

二、技术参数

参数项具体数值

分辨率0.15 nm（单通道）

最大速度±2.55 m/s（双通干涉仪配置）

精度（σ）0.2 nm（最大速度下）

兼容激光器ZYGO 7702/7714/7724（双频氦氖激光器）

输入功率要求最低0.07µW（支持长距离传输）

信号处理频率实时动态反馈（毫秒级响应）

通道扩展能力支持64轴VME总线扩展（模块化叠加）

三、核心功能特性

超精密测量能力

基于激光干涉原理，实现亚纳米级位移测量，适用于光刻机晶圆台定位、纳米级机械加工校准等场景

循环误差补偿技术（专利算法）：自动消除传统DMI系统非线性误差，提升长期稳定性

多轴协同控制

支持4通道独立测量（单板卡），可扩展至64通道（多板卡叠加）

多轴同步数据采集，满足六自由度运动平台的精密控制需求

工业级可靠性

极低温度漂移：全温域（-30℃～70℃）下性能波动<0.1 nm

抗电磁干扰：符合IEC 61000-4-2/4-3/4-4标准

智能诊断系统

实时监测激光功率、信号质量、硬件状态

自动报警功能（激光衰减、光纤断裂等异常）

四、典型应用场景

半导体制造

光刻机工作台纳米级定位（如EUV光刻机）

晶圆对准系统动态校准

精密机械加工

五轴联动数控机床主轴跳动检测

非球面光学元件抛光过程实时监控

科研实验

高能激光系统光束偏移补偿

引力波探测器镜面位移测量

航空航天

卫星光学载荷在轨形变监测

火箭发动机喷嘴装配精度控制
 

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我们是专业提供工业自动化领域的备件服务商，我们主营PLC模块，DCS卡件，ESD系统卡件，振动监测系统卡件，汽轮机控制系统模块，燃气发电机备件，我们与****的多家PLC，DCS产品维护服务供应商建立了紧密的合作关系。

公司经销产品广泛应用于数控机械 冶金、石油天然气、石油化工、化工、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等行业。

公司主营产品，优势供应，充足库存：

各品牌DCS、PLC备件：

Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等

德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。

ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。

GE燃机卡件IS200系列，DS200系列

Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、

CompactLogix/1769/1768、

Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。

Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。

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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。

Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

FOXBORO H92904CC0500

ABB PM866AK02

ABB AC800M 3BSE053240R1 PM891

ABB PFSK152

ABB PFSK151

OKOS AL8XGTE-3

woodward 8200-1302

ABB 5SHY4045L0004

GE V7768-320001 350-9301007768-320001 A2

ABB 5SHY3545L0014 3BHB013085R0001

ABB 5SHY3545L0014 3BHE019719R0101

GE IS215UCVEH2AE

GE IS215UCVEH2AE+TPMC815-11=IS215UCVEM08B

ABB PPD113

ABB RET670

ABB RET670 1MRK004816-AC

ABB 5SHY4045L0006 3BHB030310R0001

jdsu 2213-75TSLKTB

Agilent 5517B

TRICON 3009

ABB 5SHY3545L0010/3BHB013088R0001

MOTOROLA MVME2434

MOTOROLA MVME2432

A-B 81001-450-53-R

ABB PNI800

WOODWARD 9907-164

NI PXIE-4145

ABB CI871K01 3BSE056797R1

MOTOROLA MVME5500-0161

MOTOROLA MVME5500-0163

EMERSON MVME55006E-0163

GE DS200DCFBG1BJB

ABB PPD113B01-10-150000

ABB PM904F 3BDH001002R0001

TRICONEX 2058

TRICONEX 2101

TRICONEX 2301

TRICONEX 2351

TRICONEX 2481

TRICONEX 2401

TRICONEX 2553

TRICONEX 2551

TRICONEX 2658

TRICONEX 2652

TRICONEX 2651

TRICONEX 2661

TRICONEX 2660-63

TRICONEX 2700

TRICONEX 2750

TRICONEX 2752

TRICONEX 2755

TRICONEX 2852

TRICONEX 4107

TRICONEX 4315B

TRICONEX 3002

TRICONEX 3003

TRICONEX 3101

TRICONEX 3201

TRICONEX 3301

TRICONEX 3351

TRICONEX 3401

TRICONEX 3607E

TRICONEX 4101

TRICONEX 4119A

TRICONEX 4200

TRICONEX 4201

TRICONEX 4211

TRICONEX 4238

TRICONEX 4320

TRICONEX 4351A

TRICONEX 4409S

TRICONEX 4500

TRICONEX 4507