产品型号：AMAT 0010-23715

ASML半导体制造设备精密光学组件

主要特点和优势

高精度光学控制

AMAT 0010-23715作为光刻机核心模块，集成滤光片、快门及透镜组，支持对紫外光（UV）或深紫外光（DUV）的精准调控，确保光刻过程中光斑形状与能量分布的稳定性，直接影响芯片制造的分辨率与良率。

抗干扰与环境适应性

采用陶瓷与石英材质结构，耐高温（最高300℃）且抗化学腐蚀，适应光刻机运行中复杂的热力学与光学环境，降低因温度波动或污染导致的性能漂移。

模块化设计

支持快速拆卸与替换，兼容ASML PAS 2500/5000系列光刻机，简化维护流程并缩短停机时间，适用于200mm与300mm晶圆的高通量生产需求。

智能控制接口

配备数字信号接口，可与ASML运动控制模块（如XICB传感器分布箱）联动，实现微米级精度的光路校准与动态补偿，提升复杂芯片图案的对准精度。

长寿命与可靠性

通过真空封装与冗余设计，减少机械磨损与光学元件老化，平均无故障时间（MTBF）超过10万小时，满足半导体行业7×24小时连续运行要求。

技术规格

参数项规格描述

光学波长范围193 nm（ArF准分子激光）

透光率≥95%（指定波长下）

结构材质陶瓷基底+石英透镜组

工作温度-20℃至300℃

尺寸300mm（直径）×5mm（厚度）

重量0.8 kg

防护等级IP67（真空环境）

应用领域

光刻机核心部件

用于ASML PAS 2500/5000系列光刻机的曝光模块，控制光束能量分布，确保晶圆曝光精度达纳米级。

半导体制造设备维护

作为易损件替换，提升光刻机在28nm以下先进制程中的稳定性和良率。

精密光学仪器

适用于激光加工、微电子检测设备中的高精度光路调制场景。

 

 

 

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各品牌DCS、PLC备件：
Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等
德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。
ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。
GE燃机卡件IS200系列，DS200系列
Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、
CompactLogix/1769/1768、
Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。
Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。
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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。
Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
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