AMAT 0021-84842产品简介

产品概述

0021-84842是应用材料（Applied Materials）推出的精密适配器模块，专为半导体制造设备的真空系统与工艺腔室设计。该模块采用高精度机械加工与耐腐蚀材料，支持多类型接口适配，适用于薄膜沉积、刻蚀等工艺的设备维护与升级，兼容AMAT主流设备平台（如Endura、Centura），提升系统兼容性与稳定性。

主要特点和优势

高精度适配：采用精密机械结构设计，确保与真空泵、反应腔室及气体管路的无缝连接，减少泄漏风险。

耐腐蚀性：表面镀覆特殊涂层（如钛合金或陶瓷），适应腐蚀性气体环境（如氯气、氟气），延长使用寿命。

模块化扩展：支持快速拆卸与替换，适配不同尺寸的真空接口，降低设备停机维护时间。

低热变形：采用低温合金材料，避免高温工艺导致的结构形变，保障真空系统密封性。

多场景兼容：兼容AMAT薄膜沉积（PVD/CVD）与刻蚀设备，适配200mm/300mm晶圆产线。

技术规格

参数规格

类型真空系统适配器模块

材质钛合金+陶瓷镀层

接口类型CF法兰（ConFlat）

工作压力真空环境（10⁻⁶Torr以下）

适用温度-20°C至300°C（短时）

防护等级IP65（防尘防水）

尺寸（长×宽×高）150mm×100mm×50mm

重量约2.5 kg

应用领域

半导体制造：用于Endura PVD设备的真空腔室密封、Centura刻蚀机的气体管路连接。

设备维护：快速替换老化或损坏的适配模块，减少产线停机时间。

工艺升级：适配新型工艺腔室，扩展现有设备功能（如高深宽比刻蚀）。

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