AMAT 0010-23716温度传感器产品简介
产品概述
型号：AMAT 0010-23716是应用材料公司（Applied Materials）生产的PMAX热电偶温度计，专为半导体制造设备中的快速热处理（RTP）系统设计。该传感器用于实时监测工艺腔体内的温度分布，确保高温处理过程的精准控制，广泛应用于晶圆制造的薄膜沉积、退火等关键工艺。
主要特点和优势
高精度温度测量
采用热电偶技术，支持宽温度范围（如500-1500℃），适用于RTP系统的极端环境。
内置信号放大与标准化输出（如4-20mA或0-10V），确保远距离传输稳定性。
工业级可靠性
不锈钢/铝合金外壳设计，耐腐蚀且适应洁净室环境，防护等级达IP65。
兼容高真空或超高真空（UHV）环境，满足半导体设备密封性要求。
系统集成能力
接口适配AMAT的Centura、Endura等平台，支持与MFC（质量流量控制器）、PLC及温度控制系统协同工作。
支持数字化信号输出，便于与HMI（人机界面）实时交互，提升工艺监控效率。
灵活扩展性
可与其他传感器（如压力、流量传感器）组成多参数监测系统，优化工艺控制逻辑。
技术规格
参数项规格值
型号0010-23716
测量范围500-1500℃（典型值）
输出信号4-20mA或0-10V（可选）
接口类型航空插头（兼容AMAT腔体标准）
防护等级IP65
环境适应性高真空（HV）/超高真空（UHV）
应用领域
半导体制造：监测RTP腔体内温度均匀性，保障晶圆退火、氧化等工艺质量。
薄膜沉积：配合CVD（化学气相沉积）或PVD（物理气相沉积）设备，实现温度闭环控制。
工艺优化：通过实时温度数据反馈，调整工艺参数以提升良率。
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Applied Materials Producer平台：
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各品牌DCS、PLC备件：
Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等
德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。
ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。
GE燃机卡件IS200系列，DS200系列
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CompactLogix/1769/1768、
Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。
Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。
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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。
Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
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