产品核心摘要
- 型号: MKS 626A01TBE
- 品牌: MKS Instruments（美国）
- 系列: Baratron® 626A 电容式薄膜规系列
- 核心功能: 基于电容薄膜原理的绝压真空测量，用于 1 Torr 量程内的高精度工艺压力检测
- 成色: 库存现货（New Surplus），原厂 Legacy 备件
- 产品类型: 电容式绝压真空计 / 薄膜规（Capacitance Manometer）
- 关键规格: 满量程 1 Torr | 精度 ±0.12% 读数 | 0–10 VDC 模拟输出 | ±15 VDC 供电
📌 型号代码 “01” 对应 1 Torr 满量程，”TBE” 表示模拟输出配置。具体过程接头形式与连接器引脚定义需以原厂手册为准。
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | 626A01TBE |
| 制造商 | MKS Instruments |
| 产品系列 | Baratron® 626A |
| 测量原理 | 电容式薄膜（绝压型） |
| 满量程 | 1 Torr（≈133.3 Pa / 1.33 mbar） |
| 测量范围 | 满量程的 0.1% 至 100%（典型） |
| 精度 | ±0.12% 读数（23°C ±3°C 下，含非线性、迟滞、重复性） |
| 长期稳定性 | <0.2% FS/年（典型） |
| 输出信号 | 0–10 VDC 线性模拟输出 |
| 供电电源 | ±15 VDC（±5%），最大 500 mA |
| 电气连接 | 15-pin D-sub 标准 MKS 接口 |
| 过程连接 | 1/4″ VCR® 或 CF 法兰（具体由后缀决定） |
| 接液材质 | Inconel® 膜片，316L 不锈钢壳体 |
| 传感器温控 | 内部恒温约 45°C，防止工艺气体冷凝 |
| 响应时间 | <20 ms（达到 90% FS） |
| 工作温度 | 电子单元 0–50°C；传感器头最高 100°C |
| 预热时间 | 30–60 分钟达到标称精度 |
| 零点温漂 | <0.002% FS/°C |
| 量程温漂 | <0.02% 读数/°C |
| 重量 | 约 2.7 kg |
| 认证 | CE、RoHS |
