产品核心摘要

· 型号: MKS 627B11TBC1B
· 品牌: MKS Instruments (美国)
· 系列: 627B Baratron® 电容薄膜真空计
· 核心功能: 高精度绝压测量，适用于腐蚀性气体及超高真空环境
· 产品类型: 压力变送器 / 电容薄膜规 (Capacitance Manometer)
· 关键规格: 10 Torr 量程 | 45°C 温控 | 0.12% 读数精度 | Inconel® 接液材质
· 成色: 全新原装 (New Surplus)，非翻新

 

关键技术规格

参数项	规格值
产品型号	MKS 627B11TBC1B
品牌	MKS Instruments (美国)
产品类型	绝压电容薄膜真空计 (Baratron®)
满量程范围	10 Torr
测量精度	读数的 ±0.12% (1 Torr 及以上)
传感器温度	45°C (温控)
分辨率	满量程的 0.001%
输出信号	0-10 VDC 模拟输出
电气接口	15-pin D-sub，带螺纹锁紧
压力接口	Swagelok® 8 VCR® 凹接口 (母头)
接液材质	Inconel®
校准方向	垂直安装校准
供电需求	±15 VDC ±5% @ 0.25A (最大)
工作温度	15°C ~ 40°C
预热时间	2 小时 (达到完全稳定)
过压极限	45 psia 或 120% 满量程，取较大值
零点温漂	满量程的 0.002% / °C
量程温漂	读数的 0.02% / °C

 

 

产品深度介绍

MKS 627B11TBC1B 是美国 MKS Instruments 公司推出的高精度绝压电容薄膜真空计，属于 627B 系列 Baratron® 产品线。627B 是对工业标准型 627A 的改进型号，新型温度控制电路提供了更好的长期稳定性和重复性 。这款型号的满量程为 10 Torr，采用 45°C 恒温控制，精度为读数的 0.12% 。传感器接液部分采用 Inconel® 合金，耐腐蚀能力强，适合处理各种腐蚀性工艺气体 。

627B11TBC1B 的核心传感技术是基于 MKS 专利的 Baratron® 电容薄膜传感器——压力变化使陶瓷或金属薄膜发生微小形变，形变量被检测为电容变化，最终转换成 0-10 VDC 线性模拟输出信号 。由于传感器不依赖气体种类进行测量，读数真实反映物理压力，不受气体分子量或成分影响 。

在命名规则方面，627B11TBC1B 的编码含义为：B = 45°C 温控，11T = 10 Torr 满量程，B = Swagelok 8 VCR 凹接口（母头），C = 精度 0.12% 读数，1 = 标准配置垂直校准，B = 15-pin D-sub 螺纹锁紧连接器 。该产品广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、光伏生产等对真空度有严苛要求的工艺环节。MKS 已停产部分 627 系列型号，目前市面流通的主要为原厂库存或经专业检测的二手件，行业标准质保 12 个月。