产品核心摘要
- 型号: MKS 628A11TBE
- 品牌: MKS Instruments（美国，马萨诸塞州安多弗）
- 系列: MKS Baratron® 628A 系列绝对压力变送器
- 核心功能: 100°C 温度控制型高精度绝对压力/真空测量
- 成色: 全新原装库存（New Surplus），非翻新
- 产品类型: 电容薄膜绝对压力传感器（Vacuum Gauge / Pressure Transducer）
- 关键规格: 量程 10 Torr | ±15 VDC 供电 | 0-+10 VDC 输出 | 精度 0.25% 读数
- ⚠️ 原厂已停产（Legacy），市场以全新库存/认证翻新件流通，库存有限
关键技术规格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | 628A11TBE |
| 制造商 | MKS Instruments Inc.（美国） |
| 产品类别 | 绝对压力变送器 / 真空计（Baratron®） |
| 所属系列 | MKS Baratron® Type 628A |
| 量程代码解读 | “628A”=628A 系列；”11T”=10 Torr 满量程；”T”=316L 不锈钢；”B”=NW-16 KF 真空法兰；”E”=DB9 电气接口 |
| 满量程范围 | 10 Torr（约 13.3 mbar / 1.33 kPa） |
| 可用测量范围 | 1 × 10⁻⁴ F.S.（即低至 0.001 Torr） |
| 精度 | 0.25% 读数（10 Torr 量程） |
| 传感器技术 | 单面双电极 Inconel 电容薄膜传感器 |
| 温度控制 | 100°C 恒温控制，最小化工艺污染 |
| 供电电压 | ±15 VDC（±5%）@ 最大 500 mA |
| 输出信号 | 0 到 +10 VDC，负载 ≥ 10 kΩ |
| 响应时间 | < 20 ms |
| 过压极限（无损伤） | 45 psia（310 kPa） |
| 与气体接触材料 | Inconel（耐腐蚀，适用于腐蚀性/脏污气体） |
| 电气接口 | DB9 母座（部分资料记为 15 针 D 型） |
| 过程连接 | NW-16 KF 真空法兰 |
| 零点温度系数 | 0.002% F.S./°C |
| 量程温度系数 | 0.02% 读数/°C |
| 环境温度范围 | 20° 至 70°C（即 68° 至 158°F） |
| 过程侧容积 | 6.3 cc |
| 防护设计 | 金属外壳，内置浪涌/ESD 抑制与 RFI 滤波 |
| 气体成分依赖性 | 测量与气体成分无关 |
| CE 合规 | EMC 指令 89/336/EEC |
| 产品状态 | 原厂已停产，全新原装库存备件 |
| HS 编码 | 9026100000（压力测量仪器） |
| RoHS 状态 | 不符合 RoHS2（2011/65/EU），仅限维修/复用/产能升级 |
| 推荐替代型号 | 628D11TBE（新一代平台） |
产品深度介绍
MKS 628A11TBE 是 MKS Instruments Baratron® 628A 系列中的温度控制型绝对压力变送器，满量程 10 Torr，采用 316L 不锈钢传感器与 NW-16 KF 真空法兰，DB9 电气接口输出 0-+10 VDC 线性压力信号。作为 628A 家族成员，它在传感器头部集成 100°C 恒温控制电路，主动抵消环境与工艺温度波动对测量的影响，并将工艺污染降至最低——这是 628A 区别于 627/629 系列（45°C 控温）的核心设计特征 。
该型号的工程价值集中在半导体制造、工业真空系统与科研实验三大场景。单面双电极 Inconel 电容薄膜传感器配合低阻抗固定频率桥式信号调节器，赋予 628A11TBE 0.25% 读数的精度与四个数量级的动态测量范围（10 Torr 满量程下可测至 0.001 Torr）。与气体成分无关的测量特性，使其在处理腐蚀性、脏污或混合工艺气体时仍能保持精度——所有与气体接触部件仅为 Inconel，杜绝了传感器材料对工艺的污染 。金属外壳内置浪涌/ESD 抑制网络与 RFI 滤波，确保在真空工艺系统强电磁环境中稳定工作。对于仍运行依赖 628A 平台的老旧真空系统，628A11TBE 是维持工艺连续性、压缩 MTTR 的关键备件；原厂已将其列为 Legacy 停产物料 ，市场以全新库存与认证翻新件流通。
