联系人：白荣
电话/Phone：+86 18150087953
邮箱/Email：
QQ：340565517描述
核心参数
参数类别
规格说明
产品型号
0190-37519
制造商
Applied Materials,Inc.
产品类型
半导体工艺模块组件
兼容平台
Endura®PVD系统
工作压力范围
1E-8至5E-3 Torr
温度稳定性
±0.5°C（350°C时）
材料兼容性
Al、Ti、Cu、TiN工艺就绪
真空完整性
<5E-9 mbar-l/s漏率
接口标准
AMAT CFx、SEMI E142兼容
电源连接
4×ISO-KF电气馈通
吹扫系统
N₂自动吹扫，带水分监测
使用寿命
100万片晶圆循环（典型值）
技术特点
该模块采用超高压真空完整性设计，配备专用金属密封件，能够将基础压力维持在1E-8 Torr以下，实现无污染沉积。先进的热管理系统确保在300mm晶圆处理过程中温度分布均匀（±0.5°C），实现埃米级厚度控制。模块化快速连接设计支持4小时内完成现场更换，具备自动识别功能，实现即插即用调试。集成健康监测功能通过专有传感器跟踪组件磨损和工艺漂移，与应用材料®E3诊断系统兼容。
应用领域
半导体前端制造：在先进逻辑晶圆厂中，该模块用于亚7nm铜互连的精密阻挡层/种子层沉积。在3D NAND制造中，为深沟槽电容结构提供共形覆盖，纵横比超过70:1。
先进封装：支持扇出晶圆级封装中的RDL（重分布层）金属化，具有优异的粘附性能。在功率半导体生产中，沉积具有受控晶粒结构的铝触点，以最小化电迁移。
MEMS制造：利用其低温处理能力，在敏感结构上进行应力控制金属化。
相关产品
0190-37518：高温变体，用于阻挡层应用
0190-37520：多靶配置，用于合金沉积
0190-76342：RF偏压升级套件，改进台阶覆盖
0190-22817：靶材快速更换组件
0190-50091：屏蔽套件，维护期间减少颗粒
0190-37519-KIT：服务套件，含密封件和消耗品
0190-88765：诊断模块，用于预测性维护
安装与维护
安装前需进行真空室烘烤，达到<5E-7 Torr背景压力。建议每季度对所有密封接口进行氦气泄漏检查，通过集成传感器监测颗粒计数，并在75万片晶圆循环后更换靶材组件。
选择深圳长欣，选择放心，售后无忧 大量现货，当天顺丰发货！！！
购买咨询
- 联系人白经理
- 电话 / 微信18150087953
- 邮箱sales@cxplcmro.com
深圳长欣自动化设备有限公司
专业提供欧美停产及常用 DCS / PLC 系统备品备件，服务于工业自动化各应用领域。
服务流程
- 确认型号 — 客户确认所需采购产品型号
- 报价查询 — 根据型号查询价格及交货期，发送正规报价单
- 确认订购 — 客户确认报价单型号无误后下单
- 签订合同 — 销售人员依据型号及数量拟定销售合同
- 付款确认 — 客户审阅合同盖章回传并按合同金额汇款
- 安排发货 — 收款后安排发货并通知客户运单号跟踪
选择深圳长欣 · 售后无忧
产品质量过硬
只与行业一线品牌厂家合作，原装进口，品类齐全。
售前服务周到
多次沟通产品型号、价格、货期，与客户共同确认方案。
业务执行到位
按时交付，制定完善交货方案，协助办理验收手续。
售后服务完善
质保期内只换不修，7×24 小时服务热线，问题绝不推诿。
- 质保期内正常使用出现质量问题，免费换新，绝不推诿。
- 超出质保期的未停产物资，仅收取相关配件成本费用。
- 已停产物资，提供替代型号及设备更换流程服务。
- 已购物资终生免费升级系统软件，技术资料免费提供。
- 公司热线 24 小时服务，问题 1 小时内答复。
- 本着"服务周到、负责到底"的态度，竭诚为每一位客户服务。
主营品牌备件
产品广泛应用于冶金、石油天然气、化工、造纸、电力、水处理、能源等行业，大量现货，当天顺丰发货。
