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ASML DPEM-440A 4022.455.16371产品简介
ASML DPEM-440A 4022.455.16371是ASML公司为浸没式光刻机设计的精密液体处理模块，专用于极紫外（EUV）和深紫外（DUV）光刻工艺中的浸液系统控制。其核心功能为实时调节光刻机内部的浸没液体（如去离子水）压力、温度与流量，确保光刻过程中光学元件与晶圆之间的液体界面稳定，提升成像精度与良品率。
主要特点和优势
高精度液体控制
采用闭环压力反馈系统，可调节浸没液体压力范围0.1-1.5 bar，精度达±0.01 bar，确保光刻机光学系统与晶圆表面的液体层厚度一致。
支持动态温度补偿，在20-25°C温度范围内自动校准，减少热膨胀对成像的影响。
抗污染与高可靠性
使用钛合金与不锈钢材质制造流体通道，耐腐蚀性强，兼容去离子水与高纯度化学液体。
内置多级过滤系统（0.01μm精度），防止颗粒污染光学元件，延长设备寿命。
模块化集成设计
通过标准化接口（如SMIF Pod）与光刻机主机无缝对接，适配NXE:3600D等EUV光刻机型号。
支持远程监控，可通过ASML的LithoCell控制平台实时查看运行状态。
低功耗与高效散热
采用无刷直流电机驱动，功耗降低30%，减少热噪声对光刻精度的干扰。
整体结构紧凑，占用机柜空间小于0.5 m³，适配高密度光刻产线布局。
技术规格
参数规格
品牌ASML
型号DPEM-440A 4022.455.16371
液体类型去离子水、高纯度化学液体
压力控制范围0.1-1.5 bar
温度控制精度±0.1°C
流量调节范围0.1-5 L/min
材质钛合金、不锈钢
防护等级IP67（防尘防水）
电源要求24V DC±10%
应用领域
半导体制造
为EUV光刻机提供浸液系统控制，支持7nm及以下先进制程芯片的高精度光刻。
微电子与光学器件
用于MEMS传感器、光学透镜等精密器件的制造工艺，保障微米级结构的均匀性。
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ASML NXE:3600D EUV光刻机
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如DPEM-380A，适用于传统浸没式光刻机（如TWINSCAN系列），功能与DPEM-440A类似但参数略有差异。
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公司经销产品广泛应用于数控机械 冶金、石油天然气、石油化工、化工、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等行业。
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各品牌DCS、PLC备件：
Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等
德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。
ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。
GE燃机卡件IS200系列，DS200系列
Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、
CompactLogix/1769/1768、
Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。
Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。
Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。
Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。
ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。
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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。
GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。
Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。
Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。
Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。
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