ASML MC1AB37 4022.437.1856

描述

ASML MC1AB37 4022.437.1856电机控制器产品简介

产品概述

型号：MC1AB37 4022.437.1856是ASML（荷兰阿斯麦集团）为光刻设备定制的高精度电机控制器，专为半导体制造中的纳米级运动控制设计。该控制器集成多轴同步控制、动态误差补偿及抗干扰算法，支持光刻机核心模块（如晶圆台、掩模台）的亚纳米级定位，确保芯片制造工艺的高精度与稳定性。

主要特点和优势

纳米级运动控制

支持单轴重复定位精度达±0.1nm，多轴同步误差≤1nm，满足EUV光刻机对晶圆与掩模对准的严苛要求。

采用实时反馈与前馈控制算法，动态响应时间≤1ms，适应高速曝光场景下的运动需求。

高可靠性与抗干扰性

通过电磁屏蔽与温度补偿技术，抑制环境振动、电磁干扰对控制精度的影响，防护等级达IP67。

冗余电源设计与故障自检功能，确保光刻机连续运行稳定性。

多协议兼容与扩展性

支持EtherCAT、CANopen等工业总线协议，可无缝对接ASML光刻机的自动化控制系统。

提供模块化接口，兼容不同规格的直线电机与旋转电机，适配光刻机多样化运动需求。

节能与低发热设计

功率优化算法降低能耗，空载功耗≤5W，满载时温升控制在20℃以内，延长设备寿命。

技术规格

参数项规格值

型号MC1AB37 4022.437.1856

定位精度±0.1nm（单轴）

同步误差≤1nm（多轴）

动态响应时间≤1ms

通信协议EtherCAT、CANopen

防护等级IP67

工作温度10℃至40℃

电源要求24V DC（±10%）

应用领域

半导体制造：控制光刻机晶圆台、掩模台的微米级移动，确保5nm及以下芯片的曝光精度。

自动化产线：驱动精密机械臂、传送带等设备，提升半导体封装与检测效率。

纳米技术：支持纳米级3D打印、微流控芯片制造中的高精度运动需求。

科研设备：应用于光学显微镜、粒子加速器等对定位精度要求极高的实验仪器。

相关产品

ASML EUV光源模块（Cymer技术）：

与MC1AB37 4022.437.1856协同工作，实现EUV光刻机的高能光子精准投射与运动同步。

ASML双工件台系统：

采用该控制器驱动双晶圆台交替移动，缩短光刻机曝光周期，提升产能。

ASML掩模对准仪：

依赖该控制器实现掩模与晶圆的纳米级对准，减少芯片制造缺陷率。

 

 

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公司经销产品广泛应用于数控机械 冶金、石油天然气、石油化工、化工、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等行业。

公司主营产品，优势供应，充足库存：

各品牌DCS、PLC备件：

Bently Nevada（本特利）：3500系统/3300系统，前置器探头等

德国EPRO MMS6000系统卡件 MMS3000系统卡件 PR6422 PR6423 PR6424 PR6426 PR9268等系列探头前置器备件。

ABB PLC系统模块 DCS系统卡件，包括一些停产的控制系统模块卡件。

GE燃机卡件IS200系列，DS200系列

Rockwell Allen-Bradley: SLC500/1747/1746、 MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、

CompactLogix/1769/1768、

Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

Invensys Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM（现场输入/输出模块）顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、数据通信及处理等。

Invensys Triconex: 冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的**现代化的容错控制器。

Westinghouse（西屋）： OVATION系统、WDPF系统、WEStation系统备件。

Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列处理器、控制卡、电源模块等。

ABB：工业机器人备件DSQC系列、Bailey INFI 90等。

Siemens(西门子)：Siemens MOORE， 6ES5系列，6GK系列，6DD系列,6AR系列。

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Motorola（摩托罗拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

XYCOM：I/O 、VME板和处理器等。

GE FANUC(GE发那科)：模块、卡件、驱动器等各类备件,IC693,IC695，IC697 IC698等系列。

Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服马达、伺服驱动器。

Bosch Rexroth（博世力士乐）：Indramat，I/O模块,PLC控制器,驱动模块等。

Woodward（伍德沃德）：SPC阀位控制器、PEAK150数字控制器。

UFC921A101 3BHB024855R0101

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MG160MD2-42FF300-F1

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ABB S-123H 3BHB030479R0512

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ABB 5SHY4045L0001 3BHB018162R0001

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W4

KUC755AE105 3BHB005243R0105

HIEE401807R0001

3BHB046719R0008

STRAUB FLEX1L

TB820V2

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KU C755AE105

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UAC389AE02

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OXBORO H92904CC0500

ABB PM866AK02

ABB AC800M 3BSE053240R1 PM891

ABB PFSK152

ABB PFSK151

OKOS AL8XGTE-3

woodward 8200-1302

ABB 5SHY4045L0004

GE V7768-320001 350-9301007768-320001 A2

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ABB 5SHY3545L0014 3BHE019719R0101

GE IS215UCVEH2AE

GE IS215UCVEH2AE+TPMC815-11=IS215UCVEM08B

ABB PPD113

ABB RET670

ABB RET670 1MRK004816-AC

ABB 5SHY4045L0006 3BHB030310R0001

jdsu 2213-75TSLKTB

Agilent 5517B

TRICON 3009

ABB 5SHY3545L0010/3BHB013088R0001

MOTOROLA MVME2434

MOTOROLA MVME2432

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ABB PNI800

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MOTOROLA MVME5500-0161

MOTOROLA MVME5500-0163

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ABB PM904F 3BDH001002R0001